С ростом осведомленности об окружающей среде технология нанесения покрытия на материалы постепенно перешла от традиционного гальванического и химического покрытия к вакуумному напылению. Вакуумное магнетронное напыление широко используется в декоративных покрытиях для оборудования, защитных покрытиях для поверхностей, покрытиях для электронных изделий, покрытиях для электромагнитной защиты, а также в покрытиях для автомобильных и архитектурных стекол.
Следовательно, потребность в соответствующих объектах покрытия в этой области чрезвычайно актуальна. Титан-алюминиевый сплав представляет собой мишень для распыления сплава для вакуумного покрытия. Регулируя содержание титана и алюминия в этом сплаве, можно получить различные свойства. Интерметаллиды титана-алюминия представляют собой твердые и хрупкие материалы с превосходной износостойкостью. Покрытие поверхности обычных режущих инструментов этим составом может эффективно продлить срок службы инструмента.
1. Мишени для распыления
Мишени для распыленияявляются источниками распыления, используемыми для нанесения различных функциональных тонких пленок на подложки с помощью магнетронного распыления, много-ионного нанесения покрытия или другого оборудования для нанесения покрытий в соответствующих технологических условиях. Мишени для распыления широко используются в самых разных областях, включая украшения, формы, стекло, электронные устройства, полупроводники, магнитную запись, плоские-дисплеи и солнечные элементы. Для разных применений требуются разные целевые материалы. В зависимости от метода производства мишени для распыления можно разделить на порошковые мишени, мишени для плавки и мишени для распыления. По форме их можно разделить на плоские мишени и трубчатые мишени, а плоские мишени далее подразделяются на прямоугольные и круглые мишени. В зависимости от состава их можно разделить на различные типы, включая мишени из чистых металлов, мишени из сплавов, оксидные мишени и силицидные мишени.
2. Технология изготовления мишени для распыления титано-алюминиевого сплава.
Целевые материалы сплава для распыления должны соответствовать требованиям по чистоте, плотности, размеру зерна, чистоте поверхности и т. д. Среди них чистота, плотность и размер зерна напрямую связаны с процессом подготовки целевого материала. При подготовке металлических сплавов обычно используется обычный метод плавления. Однако получение титаноалюминиевого сплава для этого метода не подходит.
Основные причины заключаются в следующем:
(1) Процесс плавления титано-алюминиевого сплава склонен к образованию различных интерметаллических соединений, таких как Gr1, TIA1, TIAL, TiAL и т. д. Присутствие этих интерметаллических соединений приводит к хрупкости обработки титано-алюминиевого сплава, особенно когда содержание алюминия в сплаве превышает 50% (атомное соотношение). Эта проблема особенно очевидна;
(2) При приготовлении целевых материалов из титано-алюминиевого сплава методом плавления в процессе литья легко образуются пузырьки, рыхлость и сегрегация, что приводит к неравномерному составу и структуре сплава, что приводит к нестабильному качеству целевого материала.
3. Метод горячего изостатического прессования и спекания.
Ученые Чжан Фэнге и другие разработали метод порошковой металлургии для изготовления мишеней из титанового-алюминиевого сплава. Этот метод предполагает смешивание порошков титана и алюминия. Перед горячим изостатическим прессованием смесь подвергается загрузке порошка, холодному изостатическому прессованию и дегазации. Наконец, мишень спекается и обрабатывается для получения мишени из титано-алюминиевого сплава.
Заключение
Спекание горячим прессованием является наиболее перспективной технологией изготовления титано-алюминиевых мишеней для напыления. Эта технология обеспечивает высокую эффективность процесса и подходит для промышленного производства. Однако подготовка мишеней из титан-алюминиевого сплава с использованием этой технологии требует повторных экспериментов и выбора соответствующих разделительных смазок для улучшения выхода и использования формы. Кроме того, оптимизация условий процесса спекания и горячего прессования (температура спекания, скорость нагрева и давление горячего прессования) необходима для повышения эффективности производства и, следовательно, снижения затрат. С быстрым ростом покрытия методом напыления и его постепенной популяризацией в Китае ежегодный рыночный спрос на мишени для напыления также быстро растет. Поэтому исследования технологии изготовления мишеней из титано-алюминиевых сплавов имеют практическую значимость и большие перспективы применения.
Компания Baoji Reliab Metal Materials Co., Ltd.
Тел.: +86-917-8883215
Отдел продаж 1: +8613092900605 (г-н Гэри)
Отдел продаж 2: +8613092913521(г-жа София)
Адрес: № 35 Baoti Rd, район Вэйбинь, Баоцзи, Китай
