Высокая чистота титанового распыления целей

 

 

Высоко чистоты титановых целей-это разбрызгивающие мишени для покрытия, изготовленные из титановых или титановых сплавов с высокой точкой, с чистотой от 99,9% до 99,9999%.

Они в основном используются в производстве полупроводников, плоских панельных дисплеях, декоративном покрытии и полях всасывания вакуумного оборудования.

Его основные показатели производительности включают чистоту, плотность (4,506-4,51 г/см сегодня), размер зерна (меньше или равен 50 мкм) и контроль примесей, которые должны соответствовать внутренним и международным стандартам, таким как ASTM и ISO.

 

Цели титана используются в интегрированных цепях для отложения барьерных слоев, таких как соединения титана-силикона и соединения титанового азота, с чистотой 4N5-6N для удовлетворения требований 0,18 мкм и более изысканных процессов.

 

В области украшения магнетроновое распыление может использоваться для приготовления различных слоев цветовой пленки, а также вакуумного покрытия как высокой адгезии, так и коррозионной стойкости.

Кроме того, титановые цели были применены в таких сценариях, как медицинские имплантаты и аэрокосмические покрытия, из -за их преимуществ легких и биосовместимых.

Технические характеристики продукта охватывают диаметры в диапазоне от 50 до 400 мм и толщины от 3 до 28 мм, и поддерживают индивидуальные требования, такие как перевязанные меди -задние цели.

 

 

1) Чистота

Однако в практических приложениях требования к чистоте для целевых материалов также различаются. Например, с быстрым развитием микроэлектронической промышленности размер кремниевых пластин развивался с 6 "и 8" до 12 ", в то время как ширина проводки снизилась с 0,5 мкв до 0,25 мкв, 0,18 мм и даже 0,13 / Линии составляют 99,999% или даже 99,9999%.

 

2) Приместное содержание

Примеси в твердом целевом материале и кислороде и водяном паре в полях являются основными источниками загрязнения для осажденной пленки. Требования для различных примесей содержимого целевых материалов для различных видов использования также различаются. Например, чистые алюминиевые и алюминиевые сплавные цели, используемые в полупроводниковой промышленности, имеют особые требования для содержания щелочных металлов и радиоактивных элементов.

 

3) Плотность

Чтобы уменьшить пористость в твердом целевом материале и повысить производительность пленки, обычно требуется, чтобы целевой материал имел относительно высокую плотность. Плотность целевого материала не только влияет на скорость распыления, но и влияет на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше плотность целевого материала, тем лучше исполнение пленки. Кроме того, увеличение плотности и прочности целевого материала позволяет ему лучше противостоять тепловому напряжению во время процесса распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей производительности целевых материалов.

 

4) Размер зерна и распределение по размерам зерна

Обычно целевой материал имеет поликристаллическую структуру, а размер зерна может варьироваться от микрометров до миллиметров. Для того же целевого материала скорость распыления цели с тонкими зернами быстрее, чем у цели с грубыми зернами. Распределение толщины пленок, нанесенных целевым распылением с меньшими различиями в размере зерна (равномерное распределение), является более равномерным.

 

 

 

A. Процессы прокатки и коровки титановых целевых материалов

Горячая прокатка и холодный прокат используются для обработки титановых материалов в требуемые размеры и формы.

Процесс подготовки усиливает механическую прочность и внутреннюю однородность целевого материала за счет улучшения зерновой структуры материала.

 

B. По надлежащую полировку и обработку поверхности

Полиция поверхности гарантирует, что целевой материал имеет хорошую поверхностную отделку и снижает неравномерность во время распыления.

Обработка поверхности (такая как удаление оксидной шкалы и тонкое шлифование) может усилить плавное высвобождение распылительных частиц, тем самым улучшая качество покрытия.

 

 

1. Тестирование чистоты целевых материалов

Инструменты спектрального анализа используются для обнаружения компонентов примесей (таких как азот, кислород, железо и т. Д.) В титановых целевых материалах, чтобы гарантировать, что их чистота достигает 99,9%.

 

2. Обнаружение физического параметра

Тест плотности: плотность целевого материала измеряется методом смещения воды, чтобы определить, есть ли поры внутри.

Тест на шероховатость поверхности: оцените поверхностную плоскость целевого материала с помощью лазерного интерферометра.

Тест прочности: Убедитесь, что механические свойства целевого материала соответствуют требованиям распыления с помощью испытаний на растяжение и тестов на твердость.

 

 

 

горячая этикетка : Цели с высокой чистотой титановой распылкой, Китай высокая чистота титановых целей Производители, поставщики, завод, ASTM B381 Titanium Alloy Forging Rings, Titanium сплавные болты Hexagon Head Din933, диоксид титана, Титановый двигатель, Титановые центр